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多可存储系统

高密度存储，空间利用率高，充分利用高度空间

    • 快速实施

    自动料位示教测试

    • 自动料位示教测试

    快速实施

    • 高密度存储

    高空间利用率

    • 300mm

    半导体 Fab工程

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产品参数

优点简介 1.  高密度存储，空间利用率高，充分利用高度空间  
2.  高节拍  
3.  集成到车间物料管理系统  
4.  快速实施，自动料位示教测试
5.  兼容ARV/OHT/OHS/人工 
6.  符合洁净室ISO14644-14、SEMI S2标准和ESD标准 


应用场景

上下料

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